电子通信研究院（ETRI）于24日宣布，已成功开发出一种无需洁净室（半导体清洁工艺设施）即可制造大面积电子皮肤的技术。
电子皮肤是一种薄而柔韧的传感器，能像人类皮肤一样感知压力与接触，被视为实现智能机器人精密触觉功能不可或缺的核心技术。
长期以来，柔性电子传感器的制造依赖于掩模工艺、真空沉积和蚀刻等半导体制造流程，这使得高昂的洁净室设施几乎成为必需品。这不仅导致制造过程复杂，成本也居高不下。
特别是在仿人机器人等具有类人外观、需要大面积应用触觉传感器的领域，如何同时确保工艺的稳定性与可靠性一直是个巨大挑战。
为解决这些难题，研究团队开创性地研发了一种无掩模工艺技术，仅利用紫外线激光和3D打印机，就能在所需位置直接“打印”出传感器。这项技术省去了独立的掩模工序，大幅精简了制造步骤，并显著降低了对洁净室的依赖。
该技术的核心亮点在于，无需分割工艺或进行单独转移，通过单一连续流程即可在现场完成传感器的制造。此外，它还能完美适配曲面或带有起伏的复杂结构，极大地拓展了其应用场景。
ETRI的首席研究员金惠珍表示：“这项技术不仅大幅降低了大规模柔性传感器的制造门槛，更将人机交互技术的可行性向前推进了一大步。未来，它有望广泛应用于智能机器人、可穿戴设备等诸多领域。”
